Electrical Properties of Indium-Oxide Thin Films Produced by Plasma-Enhanced Reactive Thermal Evaporation.

Autor: Ilin, A. S.1 as.ilin@physics.msu.ru, Matsukatova, A. N.1, Forsh, P. A.1,2,3, Vygranenko, Yu.4
Zdroj: Semiconductors. Dec2018, Vol. 52 Issue 12, p1638-1641. 4p.
Databáze: Academic Search Ultimate
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje