Computational Fluid Dynamics simulation of the ALD of alumina from TMA and H2O in a commercial reactor.

Autor:	Gakis, G.P.1,2, Vergnes, H.2, Scheid, E.3, Vahlas, C.4, Caussat, B.2 brigitte.caussat@ensiacet.fr, Boudouvis, A.G.1
Zdroj:	Chemical Engineering Research & Design: Transactions of the Institution of Chemical Engineers Part A. Apr2018, Vol. 132, p795-811. 17p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.