Investigation of mechanical properties of CVD grown titanium silicon nitride thin films under reduced atmosphere.

Autor:	Guha, Spandan1, Das, Soham1, Bandyopadhyay, Asish2, Das, Santanu3, Swain, Bibhu P.1,4 bibhu.s@smit.smu.edu.in, bibhuprasad.swain@gmail.com
Zdroj:	Applied Physics A: Materials Science & Processing. Jan2018, Vol. 124 Issue 1, p1-1. 8p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.