РОЗПОДІЛ КОНЦЕНТРАЦІЇ ДОМІШОК ТА ЇХНІХ КОМПЛЕКСІВ ІЗ ВАКАНСІЯМИ ЗА МЕЖАМИ ПРОБІГУ ІОНІВ ПРИ ІМПЛАНТАЦІЇ
Autor: | Сугаков, В. Й.1, Чернюк, А. А.1 |
---|---|
Zdroj: | Nuclear Physics & Atomic Energy. Mar2017, Vol. 18 Issue 1, p43-47. 5p. |
Databáze: | Academic Search Ultimate |
Externí odkaz: |