РОЗПОДІЛ КОНЦЕНТРАЦІЇ ДОМІШОК ТА ЇХНІХ КОМПЛЕКСІВ ІЗ ВАКАНСІЯМИ ЗА МЕЖАМИ ПРОБІГУ ІОНІВ ПРИ ІМПЛАНТАЦІЇ

Autor: Сугаков, В. Й.1, Чернюк, А. А.1
Zdroj: Nuclear Physics & Atomic Energy. Mar2017, Vol. 18 Issue 1, p43-47. 5p.
Databáze: Academic Search Ultimate