Structural, optical and mechanical properties of thin diamond and silicon carbide layers grown by low pressure microwave linear antenna plasma enhanced chemical vapour deposition.

Autor:	Taylor, Andrew1,2 taylor@fzu.cz, Drahokoupil, Jan1, Fekete, Ladislav1, Klimša, Ladislav1, Kopeček, Jaromír1, Purkrt, Adam1, Remeš, Zdeněk1,2, Čtvrtlík, Radim3, Tomáštík, Jan3, Frank, Otakar4, Janíček, Petr5,6, Mistrík, Jan5,6, Mortet, Vincent1,2
Zdroj:	Diamond & Related Materials. Oct2016, Vol. 69, p13-18. 6p.
Databáze:	Academic Search Ultimate
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect