The effect of pressure, bias voltage and annealing temperature on N2 and N2 + SiH4 doped WC/C DC magnetron sputtered layers /
| Hlavní autor: |
Horňák, Peter
(
Autor )
|
|---|---|
| Další autoři: |
Kottfer, Daniel
(
Autor )
|
| Typ dokumentu: | Článek |
| Jazyk: |
angličtina |
| ISSN: | 0862-5468 |
| Zdroj: | Ceramics - Silikáty: Roč. 62, č. 1 (2018), s. 97-107. |
| Předmět: | |
| Externí odkaz: |
Plný text
|