In situ analysis of PMPSi zhin films by spectroscopic ellipsometry /

Hlavní autor:
Další autoři:
Nebojsa, Alois ( Autor )
Urbánek, Michal ( Autor )
Navrátil, Karel ( Autor )
Typ dokumentu: Článek
Jazyk: angličtina
ISSN: 0447-6441
Zdroj: Jemná mechanika a optika : věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis: Roč. 49, č.9 (2004), s. 260-262.
Předmět:
optika
články
Externí odkaz: Získat plný text

Podobné jednotky