Zápis tvarovaným elektronovým svazkem = Writing system with shaped electron beam /

Hlavní autor:
Další autoři:
Kokrhel, Svatopluk ( Autor )
Urbánek, Michal ( Autor )
Daněk, Lukáš ( Autor )
Typ dokumentu: Článek
Jazyk: čeština
ISSN: 0447-6441
Zdroj: Jemná mechanika a optika : věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis: Roč. 53, č. 1 (2008), s. 11-16.
Předmět:
rozptyl (fyzika)
elektronová litografie
elektronový litograf
tvarovaný svazek
elektronově-optická soustava
rozptyl elektronů
rychlost zápisu
články
Externí odkaz: Získat plný text

Podobné jednotky