Optický kamerový systém pro tester elektrických vlastností polovodičových vzorků. /The camera vizualization system of precision seting measuring situation for semiconductor tester/ /
Kamerový vizualizační systém slouží k přesnému nastavení polohy snímací jehly proti zkoumanému polovodičovému vzorku upevněném na křížovém mikroposuvném stolku testeru.
Hlavní autor: |
Kostka, František
(
Autor )
|
---|---|
Další autoři: |
Ronovský, Petr
(
Autor )
|
Typ dokumentu: | Kniha |
Jazyk: |
čeština |
Vydavatel: |
Praha :
Akademie věd ČR. Ústav radiotechniky a elektroniky,
2005.
|
Edice: |
Výzkumná zpráva ;
Z 2093/A |