Optický kamerový systém pro tester elektrických vlastností polovodičových vzorků. /The camera vizualization system of precision seting measuring situation for semiconductor tester/ /

Kamerový vizualizační systém slouží k přesnému nastavení polohy snímací jehly proti zkoumanému polovodičovému vzorku upevněném na křížovém mikroposuvném stolku testeru.

Hlavní autor:
Kostka, František ( Autor )
Další autoři:
Ronovský, Petr ( Autor )
Typ dokumentu: Kniha
Jazyk: čeština
Vydavatel: Praha : Akademie věd ČR. Ústav radiotechniky a elektroniky, 2005.
Edice: Výzkumná zpráva ; Z 2093/A