Plazmennaja technologija v proizvodstve SBIS = Plasma processing for VLSI /
| Další autoři: |
Brown, Dale M.
(
Editor )
Zolotarev, Ju. M.
(
Překladatel )
|
|---|---|
| Typ dokumentu: | Kniha |
| Jazyk: |
ruština |
| Vydavatel: |
Moskva :
Mir,
1987.
|
| Předmět: | |
|
|