Optické spektroskopie dielektrických vrstev pro ULSI /
Hlavní autor: |
Postava, Kamil
(
Autor )
|
---|---|
Další autoři: |
Životský, Ondřej
(
Autor )
|
Typ dokumentu: | Článek |
Jazyk: |
čeština |
ISSN: | 0447-6441 |
Zdroj: | Jemná mechanika a optika : věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis: Roč. 48, č. 2 (2003), s. 54-58. |
Předmět: | |
Externí odkaz: |
|