Měření mechanického napětí v tenkých vrstvách pomocí kombinované optické metody = Stress measurement in thin layers with aid of combined optical method /

Hlavní autor:
Další autoři:
Čudek, Vladimír ( Autor )
Šiler, Martin ( Autor )
Typ dokumentu: Článek
Jazyk: čeština
ISSN: 0447-6441
Zdroj: Jemná mechanika a optika : věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis = Fine mechanics and optics: Roč. 50 , č. 3 (2005), s. 72-75.
Předmět:
tenké vrstvy
interferometrie
DLC vrstvy
mechanické napětí
dvoupaprsková interferometrie
články
Externí odkaz: Získat plný text

Podobné jednotky