Resists in microlithography and printing /
| Typ dokumentu: | Kniha |
|---|---|
| Jazyk: |
angličtina čeština |
| Vydavatel: |
Amsterdam : Praha :
Elsevier, Academia,
1993.
|
| Vydání: | 2nd revised English ed., 1. vyd. české |
| Edice: |
Materials science monographs;
76 |
| Předmět: | |
|
|