Electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapour deposition of sioxny : optical properties and applications

Autor:	Bulkin, Pavel Victorovich
Rok vydání:	2014
Předmět:	Thin films - Optical properties Optical materials Materials - Optical properties
Druh dokumentu:	Diplomová práce
Popis:	D.Ing. (Electrical And Electronic Engineering ) Please refer to full text to view abstract
Databáze:	Networked Digital Library of Theses & Dissertations
Externí odkaz:	http://hdl.handle.net/10210/9996 Zobrazit plný text záznamu