Etude de la nucléation et de la croissance de nanocristaux de silicium élaborés par dépôt chimique en phase vapeur pour dispositifs nanoélectroniques
| Autor: | Mazen, Frédéric Brémond, Georges. |
|---|---|
| Jazyk: | francouzština |
| Rok vydání: | 2005 |
| Předmět: | |
| Popis: | Thèse doctorat : Dispositifs de l'Electronique Intégrée : Villeurbanne, INSA : 2003. Titre provenant de l'écran-titre. Bibliogr. à la fin de chaque chapitre. |
| Databáze: | Networked Digital Library of Theses & Dissertations |
| Externí odkaz: |
|