Image grating metrology using a Fresnel zone plate

Autor:	Joo, Chulmin, 1976
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2003
Předmět:	Mechanical Engineering.
Druh dokumentu:	Diplomová práce
Popis:	Thesis (S.M.)--Massachusetts Institute of Technology, Dept. of Mechanical Engineering, 2003. Includes bibliographical references (p. 107-110). by Chulmin Joo. S.M.
Databáze:	Networked Digital Library of Theses & Dissertations
Externí odkaz:	http://hdl.handle.net/1721.1/89392 Zobrazit plný text záznamu