Compositional dependence of damage buildup in Ar-ion bombarded AlGaN

Autor:	Pągowska, K., Ratajczak, R., Stonert, A., Nowicki, L., Turos, A.
Zdroj:	In Vacuum 2009 83 Supplement 1:S145-S147
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect