Structural and Electrical Characterization of Hf0.5Zr0.5O2 Thin Films Crystallized by Rapid Thermal Annealing
| Autor: | Park Jucheol, Park Yeong Gyeong, Kang Min-Ho, Lee Myung-Keun, Hyun Moon Seop |
|---|---|
| Jazyk: | English<br />French |
| Rok vydání: | 2024 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | BIO Web of Conferences, Vol 129, p 24040 (2024) |
| Druh dokumentu: | article |
| ISSN: | 2117-4458 |
| DOI: | 10.1051/bioconf/202412924040 |
| Databáze: | Directory of Open Access Journals |
| Externí odkaz: |
|