Preface: Materials, metrology, and modeling for a future beyond CMOS technology
Autor: | G. Andrew Antonelli, Dann Herr, Sean W. King |
---|---|
Jazyk: | angličtina |
Rok vydání: | 2018 |
Předmět: | |
Zdroj: | APL Materials, Vol 6, Iss 5, Pp 058001-058001-2 (2018) |
Druh dokumentu: | article |
ISSN: | 2166-532X |
DOI: | 10.1063/1.5037331 |
Databáze: | Directory of Open Access Journals |
Externí odkaz: |