Initial Optimization of the Growth Conditions of GaAs Homo-Epitaxial Layers after Cleaning and Restarting the Molecular Beam Epitaxy Reactor

Autor: Dawid Jarosz, Marcin Stachowicz, Piotr Krzeminski, Marta Ruszala, Anna Jus, Pawel Sliz, Dariusz Ploch, Michal Marchewka
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2023
Předmět:
Zdroj: ACS Omega, Vol 8, Iss 36, Pp 32998-33005 (2023)
Druh dokumentu: article
ISSN: 2470-1343
DOI: 10.1021/acsomega.3c04777
Databáze: Directory of Open Access Journals