Коэффициенты переноса электронов в NF3
| Autor: | Valeriy Lisovskiy |
|---|---|
| Jazyk: | English<br />Russian<br />Ukrainian |
| Rok vydání: | 2013 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | East European Journal of Physics, Iss 1069(4) (2013) |
| Druh dokumentu: | article |
| ISSN: | 2312-4334 2312-4539 |
| Popis: | В настоящей работе с помощью кода Bolsig и сечений упругих и неупругих столкновений электронов с молекулами газа рассчитаны коэффициенты переноса электронов в NF3. Был определен первый коэффициент Таунсенда для прямой ионизации молекул NF3 электронным ударом (как полный, так и парциальный для каждого сорта образующихся положительных ионов). Показано, что в процессе ионизации наиболее вероятно появление положительных ионов NF2+. Получены коэффициент диссоциативного прилипания и значение приведенного электрического поля, в котором частоты ионизации и прилипания электронов равны друг другу, т.е. эффективный коэффициент ионизации равен нулю. С помощью частот упругих и неупругих столкновений рассчитаны также доля энергии, теряемой электронами при столкновениях с молекулами NF3, средняя и характеристическая энергии электронов, подвижность и дрейфовая скорость электронов. Были также измерены ВЧ кривые зажигания для различных расстояний между электродами и частот ВЧ электрического поля, из координат точек поворота на которых получены значения дрейфовой скорости электронов в NF3, удовлетворительно согласующиеся с результатами расчетов с помощью кода Bolsig. |
| Databáze: | Directory of Open Access Journals |
| Externí odkaz: |
|