Channeling Implants of B-ions Into Less-than 100 Greater-than Silicon Surfaces

Autor:	Raineri, V., Galvagno, G., Rimini, E., Biersack, J. P., Nakagawa, S. T., Laferla, A., Carnera, Alberto
Rok vydání:	1991
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3657::fb64f69bffd7cae29bed348bdc5f649b http://hdl.handle.net/11577/2497319 Zobrazit plný text záznamu