Popis: |
Метою роботи є дослідження формування структури і фазового складу нанорозмірних плівкових композицій Fe/Ag/Pt та Pt/Ag/Fe при термічній обробці у вакуумі. Об’єкт дослідження: дифузійно індуковані процеси фазоутворення у нанорозмірних плівкових композиціях Fe(15 нм)/Ag(10 нм)/Pt(15 нм) та Pt(15 нм)/Ag(10 нм)/Fe(15 нм) після осадження та термічної обробки у вакуумі. Предмет дослідження: структура, фазовий склад концентраційний розподіл у нанорозмірних плівкових композиціях Fe(15 нм)/Ag(10 нм)/Pt(15 нм) та Pt(15 нм)/Ag(10 нм)/Fe(15 нм) на підкладках SiO2(100 нм)/Si(001) після осадження та термічної обробки у вакуумі Методи дослідження: рентгеноструктурний фазовий аналіз, масспектрометрія вторинних нейтральних частинок (МСВН), SQUID-магнітометрія Результати досліджень та їх новизна: отримані нові знання про закономірності фазоутворення під час термічної обробки у вакуумі в плівкових композиціях Fe(15 нм)/Ag(10 нм)/Pt(15 нм) та Pt(15 нм)/Ag(10 нм)/Fe(15 нм). The aim of the work is to study the formation of the structure and phase composition of nanosized Fe/Ag/Pt and Pt/Ag/Fe film compositions during heat treatment in vacuum. Object of study: diffusion-induced phase formation processes in nanosized Fe(15 nm)/Ag(10 nm)/Pt(15 nm) and Pt(15 nm)/Ag(10 nm)/Fe(15 nm) film compositions after deposition and heat treatment in vacuum. Subject of research: structure, phase composition, concentration distribution in nanosized Fe(15 nm)/Ag(10 nm)/Pt(15 nm) and Pt(15 nm)/Ag(10 nm)/Fe(15 nm) film compositions on SiO2 (100 nm)/Si (001) substrates after deposition and heat treatment in vacuum Research methods: X-ray diffraction phase analysis, mass spectrometry of secondary neutral particles (SNMS), SQUID magnetometry Research results and their novelty: new knowledge about the regularity of phase formation during heat treatment in vacuum in Fe(15 nm)/Ag(10 nm)/Pt(15 nm) and Pt(15 nm)/Ag(10 nm)/Fe(15 nm) film compositions were received. |