Popis: |
Мета роботи – встановлення основних закономірностей формування складу та структури нанокомпозитних багатошарових наноструктурних покриттів з прогнозованими функціональними властивостями, розробка технологічних рекомендацій до практичного застосування даних покриттів, дослідження процесів реактивного іонно-плазмового синтезу нанокомпозиційних структур та розробка технологій синтезу багатошарових функціональних, в тому числі нанокомпозиційних, покриттів для потреб наноелектроніки, біомедицини, ядерної енергетики та машинобудування. |