| Autor: |
Galanov, G. N., Zatsepin, A. F., Kortov, V. S., Luchinin, A. S., Maltsev, A. P., Tjukov, V. V., Ushkova, V. I. |
| Jazyk: |
ruština |
| Rok vydání: |
1995 |
| Předmět: |
|
| Popis: |
FIELD: electrical acoustics. SUBSTANCE: photo-stimulated exoelectron emission is measured when scanning local surface area by UV probe between radiating and receiving converters. EFFECT: improved quality of quantitative evaluation of working parameters of the vibrators. 5 tbl, 4 dwg. Использование: технология изготовления и контроль качества изделий акустоэлектроники на поверхностных акустических волнах. Сущность изобретения: контроль осуществляктся путем измерения тока фотостимулированной экзоэлектронной эмиссии при сканировании УФ-зондом локального участка поверхности между излучающим и приемным встречно-штыревыми преобразователями. Положительный эффект: возможность количественной оценки рабочих параметров готовых резонаторов на промежуточных этапах технологического цикла и сборки. 4 ил. 5 табл. |
| Databáze: |
OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|
