Design and Fabrication of a Ring-Coupled Mach
| Autor: | Kempf, Eva, Labeye, Pierre, Grosse, Philippe, Boeuf, Frederic, Monfray, Stephane, Charette, Paul, Orobtchouk, Regis |
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| Přispěvatelé: | Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Département d'Optronique (DOPT), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Université de Sherbrooke (UdeS), Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Lyon-École Centrale de Lyon (ECL), Université de Lyon-Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL), Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE) |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2021 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | ESSCIRC 2021-IEEE 47th European Solid State Circuits Conference (ESSCIRC) ESSCIRC 2021-IEEE 47th European Solid State Circuits Conference (ESSCIRC), Sep 2021, Grenoble, France. pp.179-182, ⟨10.1109/ESSCIRC53450.2021.9567877⟩ |
| DOI: | 10.1109/ESSCIRC53450.2021.9567877⟩ |
| Popis: | International audience; In this paper, we present a CMOScompatible integrated photonics resonant gyroscope incorporating active Si&Ge components with low-loss SiN waveguiding structures for the first time. The gyroscope design is based on a ring-coupled Mach-Zehnder interferometer (19.2 mm ring length). Based on numerical modelling, the estimated resolution is 1.08 deg/s, representing a 1.56-times improvement over a single ring all-pass design with the same footprint. Further improvement afforded by the MZI-based design is expected under Kerr effet limited conditions. Devices were fabricated with the STMicroelectronics DAPHNE (Datacom Advanced Photonics Nanoscale Environment) 300 mm Photonic R&D platform. Experimental measurements under static (nonrotating) conditions confirm the numerical modelling results. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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