Incident ion energies spectra from an RF plasma in CF4
| Autor: | Bisschops, T.H.J., Vallinga, P.M., Schram, Daan, de Hoog, F.J., Pesnelle, A. |
|---|---|
| Přispěvatelé: | Applied Physics, Plasma & Materials Processing |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 1988 |
| Zdroj: | SASP, Symposium on Atomic and Surface Physics, '88 : contributions : La Plagne, France, January 17-23, 373-378 STARTPAGE=373;ENDPAGE=378;TITLE=SASP, Symposium on Atomic and Surface Physics, '88 : contributions : La Plagne, France, January 17-23 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|