Coarse‐grained approach to amorphous and anisotropic materials in kinetic Monte Carlo thin‐film growth simulations: A case study of TiO 2 and ZnO by plasma‐enhanced chemical vapor deposition
| Autor: | Jorge Budagosky, Xabier García‐Casas, Juan R. Sánchez‐Valencia, Ángel Barranco, Ana Borrás |
|---|---|
| Rok vydání: | 2022 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Plasma Processes and Polymers |
| ISSN: | 1612-8869 1612-8850 |
| DOI: | 10.1002/ppap.202100179 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|
Plný text