Deposition of hydrophilic amorphous carbon film with ether as a source molecule and analysis of its deposition reaction

Autor:	Takeshi Ihara, Hiroharu Kawasaki, Taisuke Tominaga, Yoshihito Yagyu, Tamiko Ohshima, Masanori Shinohara, Hayato Shimomura
Rok vydání:	2019
Předmět:	chemistry.chemical_compound Materials science chemistry Chemical engineering Amorphous carbon Computer Networks and Communications Applied Mathematics Signal Processing General Physics and Astronomy Molecule Ether Electrical and Electronic Engineering Deposition (chemistry)
Zdroj:	Electronics and Communications in Japan. 102:3-9
ISSN:	1942-9533
DOI:	10.1002/ecj.12157
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::c6222fc4a5435092ab84057e425f9998 https://doi.org/10.1002/ecj.12157 Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu PDF Plný text ve formátu HTML
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje	K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.