Reduction of the cantilever hydrodynamic damping near a surface by ion-beam milling

Autor: Cédric Jai, Touria Cohen-Bouhacina, Cedric Hurth, Denis Mariolle, François Bertin, Rodolphe Boisgard, Jean-Pierre Aimé, Abdelhamid Maali
Přispěvatelé: Centre de physique moléculaire optique et hertzienne (CPMOH), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Civilisations atlantiques & Archéosciences (C2A), Université de Nantes - UFR Histoire, Histoire de l'Art et Archéologie (UFR HHAA), Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Ministère de la Culture et de la Communication (MCC), Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1 (UB)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université de Rennes 1 (UR1), Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Ministère de la Culture et de la Communication (MCC)-Université de Rennes 2 (UR2), Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Nantes - UFR Histoire, Histoire de l'Art et Archéologie (UFR HHAA), Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN)
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2006
Předmět:
Zdroj: Journal of Applied Physics
Journal of Applied Physics, American Institute of Physics, 2006, 99 (2), pp.6. ⟨10.1063/1.2163996⟩
Journal of Applied Physics, 2006, 99 (2), pp.6. ⟨10.1063/1.2163996⟩
ISSN: 0021-8979
1089-7550
DOI: 10.1063/1.2163996⟩
Popis: In this work, we evaluate the influence of the cantilever width on the hydrodynamic drag force. To do so, we present an experimental analysis of the thermal motion in air and liquid of a commercial and modified by focused ion-beam (FIB) milling silicon nitride cantilevers. From the thermal noise spectrum, we extract the damping for different cantilever-sample distances. We show that the hydrodynamic force due to the drag can be reduced by almost an order of magnitude when reducing the cantilever width. With the FIB modification (milling) one can still use conventional atomic force microscope heads with a significant reduction of the hydrodynamic forces.
Databáze: OpenAIRE