Topographiemessungen technischer Oberflächen mit einer Streulichtanordnung (Topography Measurements of Engineering Surfaces with Optical Scatterometry)

Autor: Albrecht Dipl.-Ing. Dr. Hertzsch, H. Truckenbrodt, K. Hehl, Knut Kröger
Rok vydání: 2003
Předmět:
Zdroj: tm - Technisches Messen. 70:4-9
ISSN: 2196-7113
0171-8096
Popis: Gedrehte Oberflächenprofile besitzen periodische und zufällige Rauheitskomponenten. Um den Drehprozess und damit den Werkzeugverschleiß zu überwachen, ist prozessnah der mittlere periodische Profilanteil zu messen. Es wird eine optische Messmethode vorgestellt, die eine kontinuierliche Kontrolle der Parameter des periodischen Profilanteils erlaubt. Mit Hilfe einer optimierten Streugeometrie werden allein die Streuanteile der periodischen Oberflächenkomponente gemessen. Durch Vergleich mit einem geeigneten theoretischen Modell kann auf die Profilparameter zurückgeschlossen werden. Die im Falle einer Präzisionsbearbeitung (Ra ≤ 1,5 μm) dominierende periodische Rauheitskomponente kann optisch ohne Scanningverfahren gemessen werden. Die so bestimmten Profile stimmen mit den Tastschnittmessungen sehr gut überein. In der Regel reicht die Kirchhoff–Näherung aus, um die Profilparameter zu berechnen. Der Vergleich mit der rigorosen RCWA–Methode zeigt nur deutliche Abweichungen, wenn Nahfeldanteile die Streuung beeinflussen.
Databáze: OpenAIRE
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