Hybrid Systems For Electron Beam Evaporation And Ion Sputtering
Autor: | I.M. Drozd, Nttu «Igor Sikorsky Kpi», A.I. Ustinov, A.I. Kuzmichev, A.E. Rudenko |
---|---|
Rok vydání: | 2019 |
Předmět: | |
Zdroj: | Sovremennaâ èlektrometallurgiâ. 2019:18-25 |
ISSN: | 2415-8445 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |