Application de poly(3-octylthiophène) (P3OT) à la microélectronique

Autor:	C. Clarisse, J. L. Ciprelli
Rok vydání:	1995
Předmět:	Biochemistry
Zdroj:	Journal de Chimie Physique. 92:871-874
ISSN:	0021-7689
DOI:	10.1051/jcp/199592871
Popis:	Le dopage de films de P3OT en presence de derives nitrosyles nous a permis d'obtenir des resines compatibles avec les contraintes de la microelectronique. Nous avons ainsi realise des lignes de 0.2 μm de resolution, en lithographie E-Beam
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::ef4f4ffef23e2f58789b8769bf3f5293 https://doi.org/10.1051/jcp/199592871 Zobrazit plný text záznamu