Semiconductor yield loss' causes identification: A data mining approach

Autor: P. Beaune, David Rozier, R. Le Riche, H. Barkia, Xavier Boucher, Marie-Agnès Girard
Rok vydání: 2013
Předmět:
Zdroj: 2013 IEEE International Conference on Industrial Engineering and Engineering Management.
DOI: 10.1109/ieem.2013.6962530
Databáze: OpenAIRE