Semiconductor yield loss' causes identification: A data mining approach
Autor: | P. Beaune, David Rozier, R. Le Riche, H. Barkia, Xavier Boucher, Marie-Agnès Girard |
---|---|
Rok vydání: | 2013 |
Předmět: | |
Zdroj: | 2013 IEEE International Conference on Industrial Engineering and Engineering Management. |
DOI: | 10.1109/ieem.2013.6962530 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |