Improving Measurement Accuracy of Two-Dimensional S-Transform Profilometry

Autor:	陈文静 Chen Wenjing, 韩梦奇 Han Mengqi
Rok vydání:	2019
Předmět:	Accuracy and precision Optics Computer science business.industry Profilometer business S transform Atomic and Molecular Physics and Optics Electronic Optical and Magnetic Materials
Zdroj:	Acta Optica Sinica. 39:1012001
ISSN:	0253-2239
DOI:	10.3788/aos201939.1012001
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e1e29f0c1aefc2137f325d9abf84c751 https://doi.org/10.3788/aos201939.1012001 Zobrazit plný text záznamu