1KW X-PINCH SOFT X-RAY SOURCE POWERED BY A 500 KA, 100 NS, 40 PPS PULSER

Autor:	D.H. Kalantar, S. C. Glidden, David Hammer, M. R. Richter
Rok vydání:	1993
Předmět:	Soft x ray Materials science Resist business.industry Pinch Microelectronics Optoelectronics X-ray lithography business Throughput (business)
Zdroj:	Ninth IEEE International Pulsed Power Conference.
DOI:	10.1109/ppc.1993.513374
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::db1fc33be3785b27abe93e4151d14583 https://doi.org/10.1109/ppc.1993.513374 Zobrazit plný text záznamu