Correlation of Wafer-scale Film Stress Effects on ScAlN pMUT Parameters
| Autor: | D. S.W. Choong, D. J. Goh, J. Liu, S. Merugu, Q. X. Zhang, H. K. Lee, P. Chang, A. Leotti, H.-S. Tan, V. Magbujos, Y. J. Hur, H. Lin, B.S.S. Chadnra Rao, S. Ghosh, P. C. Ramegowda, D. S.-H. Chen, D. Giusti, F. Quaglia, E. J. Ng, J. E.-Y. Lee |
|---|---|
| Rok vydání: | 2022 |
| Zdroj: | 2022 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS). |
| DOI: | 10.1109/ius54386.2022.9957483 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|