In-situ formation of Hf-based MONOS structure for nonvolatile memory application
| Autor: | S. Kudoh, S. Ishimatsu, M. Tsukazaki, S. Ohmi |
|---|---|
| Rok vydání: | 2017 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Extended Abstracts of the 2017 International Conference on Solid State Devices and Materials. |
| DOI: | 10.7567/ssdm.2017.d-2-03 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|