Inline-fähige Weißlichtinterferometrie mit integrierter Schwingungskompensation
| Autor: | Stanislav Tereschenko, Peter Lehmann |
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| Rok vydání: | 2019 |
| Předmět: |
Materials science
business.industry Michelson interferometer 02 engineering and technology 021001 nanoscience & nanotechnology Linnik interferometer 01 natural sciences law.invention 010309 optics Optics law Vibration compensation 0103 physical sciences Electrical and Electronic Engineering 0210 nano-technology business Instrumentation |
| Zdroj: | tm - Technisches Messen. 86:197-207 |
| ISSN: | 2196-7113 0171-8096 |
| DOI: | 10.1515/teme-2018-0085 |
| Popis: | Zusammenfassung Weißlichtinterferometer sind weit verbreitete Messgeräte zur Erfassung von 3D-Mikrotopographien. Der Einsatz solcher Messgeräte in maschinennaher Umgebung abseits schwingungsgedämpfter Labore wird durch Umgebungsschwingungen erschwert oder sogar unmöglich gemacht. In diesem Beitrag wird ein passives Kompensationsverfahren am Beispiel von zwei interferometrischen Sensoren vorgestellt, mit dem der Einfluss beliebiger sowohl periodischer als auch transienter axialer Störschwingungen auf interferometrische Weißlichtmessungen kompensiert werden kann. Durch die zeitlich hochaufgelöste Abstandserfassung eines in das Weißlichtinterferometer integrierten Abstandsinterferometers werden alle Abweichungen von dem Soll-Tiefenscanverlauf gemessen und zur Korrektur der Weißlichtinterferenzsignale verwendet. Daraus wird anschließend mit etablierten Auswertealgorithmen die Oberflächentopographie berechnet. Die Schwingungskompensation wird anhand von Vergleichsmessungen mit und ohne Störschwingungen an verschiedenen Messobjekten demonstriert. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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