A Digital-Grating-Based Alignment Technique in Maskless Lithography
Autor: | 唐燕 Tang Yan, 胡松 Hu Song, 唐路路 Tang Lulu, 徐峰 Xu Feng, 陈铭勇 Chen Mingyong, 朱江平 Zhu Jiangping |
---|---|
Rok vydání: | 2012 |
Předmět: | |
Zdroj: | Chinese Journal of Lasers. 39:0316002 |
ISSN: | 0258-7025 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |