Electrophysical parameter comparison of 2DEG in AlGaN/GaN heterostructures grown by the NH3-MBE technique on sapphire and silicon substrates
Autor: | Timur Malin, Denis Milakhin, Vladimir Mansurov, Vladimir Vdovin, Anton Kozhukhov, Ivan Loshkarev, Ivan Aleksandrov, Dmitry Protasov, Konstantin Zhuravlev |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Journal of Crystal Growth. 588:126669 |
ISSN: | 0022-0248 |
DOI: | 10.1016/j.jcrysgro.2022.126669 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |