Electrophysical parameter comparison of 2DEG in AlGaN/GaN heterostructures grown by the NH3-MBE technique on sapphire and silicon substrates

Autor: Timur Malin, Denis Milakhin, Vladimir Mansurov, Vladimir Vdovin, Anton Kozhukhov, Ivan Loshkarev, Ivan Aleksandrov, Dmitry Protasov, Konstantin Zhuravlev
Rok vydání: 2022
Předmět:
Zdroj: Journal of Crystal Growth. 588:126669
ISSN: 0022-0248
DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2022.126669
Databáze: OpenAIRE