Adhesive mounting deformation of ultra-thin quartz workpiece in polishing
Autor: | 韩晓龙 Han Xiao-long, 周 平 Zhou Ping, 王泽红 Wang Ze-hong, 金洙吉 Jin Zhu-ji |
---|---|
Rok vydání: | 2019 |
Předmět: | |
Zdroj: | Optics and Precision Engineering. 27:2402-2409 |
ISSN: | 1004-924X |
DOI: | 10.3788/ope.20192711.2402 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |