Dynamics of Stress in Films of Metals on Silicon During Vacuum Heat Treatment
Autor: | V. N. Dzhuplin, V. S. Klimin, Yu. V. Morozova, A. A. Rezvan, Z. E. Vakulov, O. A. Ageev |
---|---|
Rok vydání: | 2021 |
Předmět: | |
Zdroj: | Russian Microelectronics. 50:412-419 |
ISSN: | 1608-3415 1063-7397 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |