Model-Based Corona Charge - Kelvin Probe Characterization of Patterned Structures

Autor:	Jacek Lagowski, Dmitriy Marinskiy
Rok vydání:	2018
Předmět:	Kelvin probe force microscope Corona (optical phenomenon) Materials science Charge (physics) Atomic physics Characterization (materials science)
Zdroj:	ECS Transactions. 85:97-104
ISSN:	1938-5862 1938-6737
DOI:	10.1149/08506.0097ecst
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::af540f3451b4e325b7d8295cf856f044 https://doi.org/10.1149/08506.0097ecst Zobrazit plný text záznamu