Improving polishing efficiency of RB-SiC through femtosecond laser pretreatment
Autor: | Huan Chen, Chaoyang Wei, Zhen Cao, Xiaocong Peng, Zhigang Jiang, Songlin Wan, Jianda Shao |
---|---|
Rok vydání: | 2023 |
Předmět: | |
Zdroj: | Applied Surface Science. 631:157574 |
ISSN: | 0169-4332 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |