Simple Low-Outgassing Atomic Hydrogen Source
Autor: | Takahiko Yamazaki, Masatoshi Tanaka, Asuka Ishii, Sadanori Arae, Kazuhiko Mase, Makoto Okusawa, Kohtaro Yanase, Keita Ochi |
---|---|
Rok vydání: | 2012 |
Předmět: | |
Zdroj: | Journal of the Vacuum Society of Japan. 55:403-404 |
ISSN: | 1882-4749 1882-2398 |
DOI: | 10.3131/jvsj2.55.403 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |