Anwendungen eines fasergekoppelten chromatisch konfokalen Sensors in Nanopositionier- und Nanomessmaschinen / Applications of a fiber coupled chromatic confocal sensor in nanopositioning and nanomeasuring machines

Autor:	Eberhard Manske, Stefan Sinzinger, Rostyslav Mastylo, Ralf Schienbein, Uwe Gerhardt, Johannes Kirchner, Laura Weidenfeller, Florian Fern, Martin Hofmann, Taras Sasiuk
Rok vydání:	2019
Předmět:	Optics Materials science business.industry Confocal Chromatic scale Electrical and Electronic Engineering A fibers business Instrumentation
Zdroj:	tm - Technisches Messen. 86:17-21
ISSN:	2196-7113 0171-8096
Popis:	Zusammenfassung Mit der Entwicklung eines neuen Sensorsystems nach dem chromatisch konfokalen Prinzip erweitern sich die Anwendungsmöglichkeiten für Nano-Koordinatenmessmaschinen [8]. Unter Verwendung der im Institut für Prozessmess- und Sensortechnik (IPMS) der Technischen Universität Ilmenau entwickelten Nanopositionier- und Nanomessmaschinen (NPMM) stehen ausgedehnte und präzise adressier- und positionierbare Mess- und Arbeitsvolumina zur Verfügung [9]. Beschrieben wird die Integration des neuen Sensors in die NPMM, sowie die Erweiterung des Systems um einen Lithografielaser für maskenloses direktes Laserschreiben (engl. Direct-Laser-Writing (DLW)) [16]. Die messtechnischen Eigenschaften des Sensors werden vorgestellt und seine Anwendungsmöglichkeit in lithografischen Strukturierungsprozessen erweitert. Der Sensor wird genutzt, um den Bearbeitungslaser im Bereich seiner Tiefenschärfe konsequent auf die Probenoberfläche zu fokussieren. Dadurch werden Strukturbreiten minimiert [17].
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::a038435a8486e44f17a6ad6c0803d49d https://doi.org/10.1515/teme-2019-0041 Zobrazit plný text záznamu