低相干干涉高深宽比结构高度检测信号处理技术
| Autor: | 孙一峰 SUN Yifeng, 高志山 GAO Zhishan, 范筱昕 FAN Xiaoxin, 张佳乐 ZHANG Jiale, 马剑秋 MA Jianqiu, 袁群 YUAN Qun |
|---|---|
| Rok vydání: | 2022 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | ACTA PHOTONICA SINICA. 51:0912001 |
| ISSN: | 1004-4213 |
| DOI: | 10.3788/gzxb20225109.0912001 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|