Critical-Dimensional Metrology for Integrated-Circuit Technology

Autor:	Sanjay Yedur, Herschel Marchman, Mike Adel, Gian Lorusso
Rok vydání:	2007
Předmět:	Materials science law Dimensional metrology Electronic engineering Integrated circuit law.invention
Zdroj:	Microlithography: Science and Technology, Second Edition
DOI:	10.1201/9781420051537.ch14
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::8dd39fcadd41d577a4774f208e10208e https://doi.org/10.1201/9781420051537.ch14 Zobrazit plný text záznamu